Furon® Suckback Valve
Furon® Suckback Valve為高純度、模壓回吸隔膜閥。
聖戈班的 Furon 回吸閥在從打開位置切換到關閉位置時會產生一個小真空，使其能夠吸回預定量的液體，防止閥門關閉後多餘的液體滴出。
這種高純度特種閥門非常適合需要精確分配液體量的應用。基於我們成熟的 UPM系列閥門技術，回吸閥具有卓越的可靠性，並可手動調節至所需的回吸量。在精選型號上，我們提供專有的抗腐蝕彈簧和改良的 PTFE 隔膜，可與最苛刻的製程化學品（包括 HF 和 HCl）相容。
作動原理介紹 https://youtu.be/v6GpdLQn_Uc
產品應用
晶圓加工解決方案
特色與優點
m接液管路為純PTFE/ PFA材質
m消除分配循環後從噴嘴滴落的介質
m可調節的回吸能力允許精確計量介質
m回吸量的重複性確保每個循環的分配量相同
m適用於超高純度或高腐蝕性介質
m創新的 Furon SCR 彈簧確保與 HF 和 HCI 相容
m適用於臭氧應用（部分型號）
