2024年04月10日
應用背景
化學品在半導體領域扮演著重要角色，不僅種類繁多，且應用於半導體元件製造的方方面面。半導體的化學品有用於去除半導體表面雜質的有機溶劑、酸鹼溶液和超純水等清洗劑，還有用於形成特定結構和圖案的氫氟酸、硫酸等液體，更有具有超細顆粒用於化學機械研磨的研磨液，因此生產過程中涉及到大量腐蝕性極強的酸、溶劑、研磨液等流體的傳輸和分配。
產品推薦
聖戈班高功能塑膠旗下電子半導體事業部的FURON® UPRP 系列壓力調節器，專為解決苛刻條件下的關鍵流體處理而生，有效防止壓力波動對關鍵設備造成的影響，以其安全、可靠、精密的優異特徵，積累了良好的客戶基礎。
產品優勢
01精準控制下游壓力
UPRP壓力調節器頂部有一張大膜片，以平衡進氣壓力和下游流體的壓力，精準可達到1:1的調節比例。例如，上游壓力60psi，目標下游壓力40psi，這時可設置進氣壓力40psi，即可達到下游穩定在40psi的調節需求。透過精準控制下游壓力，保護流體系統中的關鍵部件不受壓力波動的影響，避免設備損壞或者製程精確度降低。
02耐受性極高
聖戈班FURON® UPRP 系列壓力調節器具有高純氟塑料流體通道，幾乎耐受一切腐蝕性的酸、鹼和有機溶劑，相容於各種化學品的傳輸管線。改性PTFE膜片使得使用壽命更長，同時它也兼具FURON閥門的一貫優勢，即無金屬、無密封圈構造，從而避免對供液系統的一切潛在威脅。
